【消费电子实验室-2024/12/18】从中电科电子装备集团获悉,该集团下属红太阳光电公司自主研制的国内首台叠舟PECVD设备,近日成功发货。 叠舟PECVD设备。图片来源:中电科电子装备集团 作为光伏电池制备的一大重要工序,常规PECVD镀膜设备的市场竞争日趋激烈,主流设备各方面性能大同小异,急需高产能、低成本、高稳定性、高工艺品质的新设备机型打破市场竞争格局。 红太阳光电基于15年的光伏装备领域经验,以自研PECVD镀膜设备为基础,对设备产能、成本、能耗、稳定性、工艺可靠性等深研一步,跳出传统的单管单层舟设计思路,推出新型大管径高产能叠舟PECVD镀膜设备。 据介绍,该设备打破市面常规设备反应室结构,创新采用双舟叠放设计,单管载片量从768片提升至1368片,反应室的空间利用率从42%提升至50%,单机设备产能提升15%。 |
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